TFT-LCD（薄膜晶體管液晶顯示器）是一種基于薄膜晶體管（TFT）技術的半導體顯示面板，其核心結構由兩片玻璃基板夾持液晶層構成。下層玻璃基板集成TFT陣列，每個像素由獨立的TFT開關控制，通過調節電壓改變液晶分子排列方向，從而控制背光源的透光率；上層玻璃基板覆蓋紅、綠、藍三色濾光片，通過色光混合實現彩色顯示。該技術采用非晶硅（a-Si）或氧化物半導體（如IGZO）作為TFT溝道層材料，結合濺射、化學氣相沉積（CVD）和光刻等精密工藝制造。

        TFT-LCD的優勢體現在高分辨率（可達8K）、低功耗（約為CRT的1/10）、輕薄化（厚度可低于1mm）及寬溫工作范圍（-20℃至50℃）。其制造涉及陣列（Array）、彩膜（CF）、成盒（Cell）和模組（Module）四大工藝，其中陣列工藝通過5-7次光刻步驟形成復雜電路結構，精度達微米級。當前技術趨勢聚焦大尺寸化（玻璃基板達950×1200mm）、柔性顯示（柔性基板結合低溫多晶硅技術）及車載顯示（高響應速度、抗震動性能優化）。作為主流顯示技術，TFT-LCD廣泛應用于智能手機、電視、車載儀表及工業控制等領域，市場規模持續擴大。

        氧化鋁陶瓷具有高硬度、高機械強度、優異的耐磨性和耐高溫性，同時具備高電阻率和良好的電絕緣性能，能夠在真空、高溫等極端環境下滿足半導體制造的復雜性能要求，在TFT-LCD等半導體產業中廣泛用于承載、封裝和隔離部件，具體產品如圓環類組件（Ring）、腔體遮蔽件（Shield）、承載固定組件、傳送組件；以及真空吸盤、靜電卡盤、陶瓷加熱器、拋光臺等模塊類陶瓷零部件。

        氧化鋁腔體遮蔽件（Shield）是TFT-LCD制造中用于工藝控制的精密組件，其核心功能在于通過物理遮擋實現局部區域的加工保護。主要功能特性：

        （1）高精度定位控制‌：腔體遮蔽件通過高精度開孔設計（公差≤5μm），在曝光或刻蝕工序中精準限定加工區域，確保TFT陣列中薄膜晶體管的柵極、源漏極等關鍵結構的位置一致性。
        （2）熱穩定性‌：氧化鋁陶瓷基材可耐受300℃以上的高溫退火工藝，確保在高溫環境下的尺寸穩定性。
        （3）表面處理工藝‌：遮蔽件接觸面需達到鏡面拋光（Ra≤0.02μm），避免與玻璃基板摩擦產生微顆粒污染。

        （4）工藝污染阻隔‌：采用特殊涂層的遮蔽件可在化學氣相沉積（CVD）過程中隔離反應氣體滲透，防止非目標區域形成寄生膜層。